パナソニック 圧電薄膜を用いた圧電MEMSデバイスの開発

パナソニックは10日、「圧電薄膜を用いた圧電MEMSデバイスの開発」で5名が2012年度科学技術分野の文部科学大臣表彰 科学技術賞(開発部門)を受賞したと発表した。

同社は、高性能なチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)薄膜を、シリコン基板上に形成することに成功。小型、高性能の角速度センサとして、さらに、高画質・高速印刷が可能なインクジェット薄膜ヘッドとして製品化したことが評価された。

角速度センサはカーナビゲーションシステム、自動車の車両制御、デジタルカメラの手ぶれ防止の用途でトップシェアを得ている。インクジェット薄膜ヘッドは商業用高速オンデマンド印刷機に搭載されている。

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